Princip rada mašine za vakumiranje

Mašina za vakuumsko premazivanje je uređaj koji nanosi metalne tanke filmove na površinu podloge. Njegov osnovni princip rada podijeljen je u tri koraka: čišćenje, isparavanje i taloženje.
1. Čišćenje
Prije taloženja isparavanjem, komora za isparavanje se mora očistiti. Budući da na površini komore za isparavanje mogu biti oksidi, masnoća, prašina i druge tvari, to će utjecati na kvalitetu filma. Čišćenje obično koristi hemijske ili fizičke metode.
2. isparavanje
Željeni materijal se zagrijava iznad tačke topljenja tako da formira plinovite molekule. Gasoviti molekuli zatim izlaze iz vakuumske komore u komoru za isparavanje. Ovaj proces se naziva isparavanjem. Temperatura, pritisak i brzina isparavanja utiču na sastav, strukturu i svojstva filma.
3. Taloženje
Plinoviti molekuli materijala u komori za isparavanje ulaze u reakcionu komoru kroz vakuumsku cijev, reagiraju s aktivnim materijalom, a zatim talože proizvod na površinu supstrata. Ovaj proces se naziva sedimentacija. Temperatura, pritisak i brzina taloženja takođe utiču na kvalitet i performanse filma.
2. Aplikacija
Mašine za vakuumsko oblaganje se široko koriste u nauci o materijalima, optici, elektronici i drugim poljima.
1. Nauka o materijalima
Mašine za vakuumsko oblaganje mogu pripremiti tanke filmove različitih metala, legura, oksida, silikata i drugih materijala, a imaju široku primjenu u premazima, optičkim filmovima, optičkim pohranama, displejima, tranzistorima i drugim poljima.
2. Optika
Mašina za vakuumsko premazivanje može pripremiti filmove od metala i legura s visokom reflektivnošću i optičke filmove sa posebnim funkcijama. Ovi filmovi se mogu koristiti u solarnim panelima, elektronskim mikroskopima visokih performansi, aerogelima, UV/IR senzorima, optičkim filterima i drugim poljima.
3. Elektronika
Mašine za vakuumsko oblaganje mogu pripremiti elektronske materijale na nanorazmjeri i mikroelektronske uređaje. Ovi filmovi se mogu koristiti u nanotranzistorima, magnetnim memorijama, senzorima i drugim poljima.
Ukratko, mašina za vakuumsko premazivanje ne samo da može pripremiti različite tankoslojne materijale, već i pripremiti tanke filmove sa posebnim funkcijama po potrebi. U budućnosti će se više koristiti i promovirati tehnologija vakuumskog premaza.